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    FA4230_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人

    FA4230_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人
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    FA4230_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人

    FA4230_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人,自主研发安全可控,可全面替代进口品牌。

    产品描述


    单轴大气晶圆片盒搬运机器人
    FA4230_FA系列半导体机器人
     
    • ●采用闭环伺服控制
    • ●可根据设备布局定制臂长和Z轴行程
    • ●可选配免电池绝对式编码器
    • ●可选mapping传感器类型:对射式、反射式
    • ●可选末端执行器类型:真空吸附式、夹持式、翻转吸附式

    臂长

    420mm

    额定/最大负载

    4kg

    搬运物

    ≤Φ300mm晶圆

    QY球友会(中国)众为兴FA4230F_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人

    关键词:

    FA4QY球友会(中国)众为兴230F_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人

    规格参数

    QY球友会(中国)众为兴FA4230_4轴大气水平多关节型单臂晶圆搬运机器人


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